真空设备对油污染的要求，如果要求不严格时，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求，真空泵对环境的影响，真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施，成本因素，一次性成本，包括真空泵本身的成本、周边管路配套的成本;综合使用成本，包括日常运行维护成本、维修成本以及使用寿命成本。
轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈，轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了，旋片卡阻：主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，致使电机无法带动旋片，原因是旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，真空泵维修，问题：抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。
泵的前级压强，真空泵的较大前级压强，真空泵口较大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强，真空泵的较大工作压强，真空泵的较大工作压强单位是Pa，它是指对应较大抽气量的入口压强，在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏，压缩比，压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比，水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。