真空设备对油污染的要求，如果要求不严格时，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求，真空泵对环境的影响，真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施，成本因素，一次性成本，包括真空泵本身的成本、周边管路配套的成本;综合使用成本，包括日常运行维护成本、维修成本以及使用寿命成本。
真空泵维修，问题：真空泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转，这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏，在排除电路部分的故障后，应考虑以下两个因素：，长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足,，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀门。
泵的前级压强，真空泵的较大前级压强，真空泵口较大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强，真空泵的较大工作压强，真空泵的较大工作压强单位是Pa，它是指对应较大抽气量的入口压强，在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏，压缩比，压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比，水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。