真空设备对油污染的要求，如果要求不严格时，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求，真空泵对环境的影响，真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施，成本因素，一次性成本，包括真空泵本身的成本、周边管路配套的成本;综合使用成本，包括日常运行维护成本、维修成本以及使用寿命成本。
根据所抽介质地不同，有选择性地选用真空泵，若一种泵不能满足抽气要求进，也可考虑多种泵组合起来的方式，了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性、毒性等，选择真空泵时，需要知道所抽气体成分，针对被抽气体选择相应的泵，如果是有腐蚀性气体，那么泵的腔体材料应该选用防腐蚀材料;如果是带毒性气体，真空泵还需要考虑泄露率的问题，以避免毒性气体泄漏而造成工业事故，含可凝蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，也可以考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
泵的前级压强，真空泵的较大前级压强，真空泵口较大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强，真空泵的较大工作压强，真空泵的较大工作压强单位是Pa，它是指对应较大抽气量的入口压强，在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏，压缩比，压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比，水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。