真空设备对油污染的要求，如果要求不严格时，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求，真空泵对环境的影响，真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施，成本因素，一次性成本，包括真空泵本身的成本、周边管路配套的成本;综合使用成本，包括日常运行维护成本、维修成本以及使用寿命成本。
根据所抽介质地不同，有选择性地选用真空泵，若一种泵不能满足抽气要求进，也可考虑多种泵组合起来的方式，了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性、毒性等，选择真空泵时，需要知道所抽气体成分，针对被抽气体选择相应的泵，如果是有腐蚀性气体，那么泵的腔体材料应该选用防腐蚀材料;如果是带毒性气体，真空泵还需要考虑泄露率的问题，以避免毒性气体泄漏而造成工业事故，含可凝蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，也可以考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈，轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了，旋片卡阻：主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，致使电机无法带动旋片，原因是旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，真空泵维修，问题：抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。