在高纯气体中，杂质水常用露点表示。露点是指含水分的气体冷却到水汽饱和时的温度。即用等压冷却的方法使被测气体中的水蒸气开始出现露或霜，测量此时的温度，即为该气体的露（霜）点。测量其露点温度便可知气体湿度值。 露点仪是采用此方法设计的湿度计，具有准确度高，测量范围宽的特点。高精密露点仪是目前普遍采用的一种标准仪器。
露点仪的测量方法——电解法 就是将干燥剂吸收的水分经电解池电解成氢气和氧气排出，电解电流的大小与水分含量成正比，通过检测该电流即可测得样气的湿度。该方法弥补了重量法的缺点，测量量程可达-80℃以下，且精度较好，价格便宜;缺点是电解池气路需要在使用前干燥很长时间，且对气体的腐蚀性及清洁性要求较高。
露点仪的测量方法——阻容法 是一种不断完善的湿度测量方法。利用一个高纯铝棒，表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜，其外镀一层多空的网状金膜，金膜与铝棒之间形成电容，由于氧化铝薄膜的吸水特性，导致电容值随样气水分的多少而改变，测量该电容值即可得到样气的湿度。