对于高纯气体，微量水含量是评价其质量的重要指标之一。几乎所有的高纯气体都对水分有严格的要求，因为气体的水分不仅能够溶解一些气体组分，而且能够与某些组分发生化学反应生成酸或碱，腐蚀设备或仪器，乃至影响最终产品的质量。因此，只有准确测量和严格控制高纯气体中水分含量，才能保证高纯气体的质量，从而为各领域研究提供可靠的技术基础。 水分子是一种极性较强的分子，不仅容易被容器壁吸附，而且在气体中的数量随温度和压力不同变化很大，故气体中水分的测定不同于一般组分的测定，它通常不能和其它组分一起同时检测，所以要使用测定水分的专用仪器进行测定
“压力露点”和“大气露点”之间的关系是什么？ 压力露点和大气露点之间的对应关系与压缩比有关，压缩比通常用图形表示。当“压力露点”相同时，“压缩”比越大，相应的大气露点越低。例如，当0.7MPa压缩空气的露点为2℃时，大气压力的露点为-23℃。 当压力增加到1.0MPa，相同压力下的露点为2℃时，相应的大气露点降低到-28℃。使用什么仪器测量压缩空气的露点？虽然压力露点的单位是℃，但其表达的是压缩空气的含水量。所以测量露点实际上就是测量空气中的水分含量。测量压缩空气露点的仪器有很多，如氮气和乙醚等冷源的“镜面露点计”，五氧化二磷和氯化锂等电解质的“电解湿度计”等等。目前工业上广泛采用专用气体露点仪测量压缩空气露点，如国产TDW露点仪，测量范围为-100℃。
露点仪的测量方法——阻容法 是一种不断完善的湿度测量方法。利用一个高纯铝棒，表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜，其外镀一层多空的网状金膜，金膜与铝棒之间形成电容，由于氧化铝薄膜的吸水特性，导致电容值随样气水分的多少而改变，测量该电容值即可得到样气的湿度。