对于高纯气体，微量水含量是评价其质量的重要指标之一。几乎所有的高纯气体都对水分有严格的要求，因为气体的水分不仅能够溶解一些气体组分，而且能够与某些组分发生化学反应生成酸或碱，腐蚀设备或仪器，乃至影响最终产品的质量。因此，只有准确测量和严格控制高纯气体中水分含量，才能保证高纯气体的质量，从而为各领域研究提供可靠的技术基础。 水分子是一种极性较强的分子，不仅容易被容器壁吸附，而且在气体中的数量随温度和压力不同变化很大，故气体中水分的测定不同于一般组分的测定，它通常不能和其它组分一起同时检测，所以要使用测定水分的专用仪器进行测定
露点仪的测量方法——振动频率法 就是将重量法中的干燥剂换用一种吸湿性的石英晶体，根据该晶体吸收水分质量不同时振动频率不同的特点，让样气和标准干燥气流经该晶体，因而产生不同的振动频率差△f1和△f2，计算两频率之差即可得到样气的湿度。该方法具有电解法一样的优点，且使用前勿须干燥。
露点仪的测量方法——阻容法 是一种不断完善的湿度测量方法。利用一个高纯铝棒，表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜，其外镀一层多空的网状金膜，金膜与铝棒之间形成电容，由于氧化铝薄膜的吸水特性，导致电容值随样气水分的多少而改变，测量该电容值即可得到样气的湿度。