在高纯气体中，杂质水常用露点表示。露点是指含水分的气体冷却到水汽饱和时的温度。即用等压冷却的方法使被测气体中的水蒸气开始出现露或霜，测量此时的温度，即为该气体的露（霜）点。测量其露点温度便可知气体湿度值。 露点仪是采用此方法设计的湿度计，具有准确度高，测量范围宽的特点。高精密露点仪是目前普遍采用的一种标准仪器。
用露点仪测量压缩空气露点时应注意什么？ 使用露点仪变送器测量空气露点，特别是当测量的空气含水量非常低时，操作应非常小心和耐心。气体取样设备和连接管道应干燥（至少比被测气体干燥），管道连接应完全密封，气体流量应按规定选择，预处理时间应足够长。一点点粗心会带来很大的错误。 实验表明，以五氧化二磷为电解液的“微水分仪”测量经冷干燥器处理的压缩空气的“压力露点”存在较大误差。这是由于试验期间压缩空气的“二次电解”，导致读数高于实际值。经冷干燥器处理的压缩空气的含水量约为1000ppm，超出仪器的测量范围。因此，当测量经过冷干燥器处理的压缩空气的露点时，不应使用该仪器。
露点仪的测量方法——阻容法 是一种不断完善的湿度测量方法。利用一个高纯铝棒，表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜，其外镀一层多空的网状金膜，金膜与铝棒之间形成电容，由于氧化铝薄膜的吸水特性，导致电容值随样气水分的多少而改变，测量该电容值即可得到样气的湿度。