露点仪的工作原理： 1. 目前在压缩空气系统中被广泛使用的露点仪，工作原理基本都是通过水分的增减改变电容介电材料的特性，进而改变电容值，进而改变由电容和电感组成的振荡电路的振荡频率。振荡频率的高低反应压缩空气中水分含量的多少。 2. 采用这种工作原理的露点仪，根据所采用介电材料的不同常见的有两类：氧化铝型和高分子聚合物薄膜型。氧化铝型最低可以测量到-100 °C的压力露点，薄膜型最低可以测量到-80 °C。 3. 之前解释过，露点仪也叫微水仪，因此将露点仪长期放置于大气环境中，会降低露点仪的测量精度。固定式安装的露点仪一般2年需要重新校准一次；而便携式应用的露点仪一般1年就要重新校准一次，主要原因就是便携式露点仪和大气环境接触的机会更多，测量精度更容易受到影响。
对于高纯气体，微量水含量是评价其质量的重要指标之一。几乎所有的高纯气体都对水分有严格的要求，因为气体的水分不仅能够溶解一些气体组分，而且能够与某些组分发生化学反应生成酸或碱，腐蚀设备或仪器，乃至影响最终产品的质量。因此，只有准确测量和严格控制高纯气体中水分含量，才能保证高纯气体的质量，从而为各领域研究提供可靠的技术基础。 水分子是一种极性较强的分子，不仅容易被容器壁吸附，而且在气体中的数量随温度和压力不同变化很大，故气体中水分的测定不同于一般组分的测定，它通常不能和其它组分一起同时检测，所以要使用测定水分的专用仪器进行测定
露点仪的测量方法——阻容法 是一种不断完善的湿度测量方法。利用一个高纯铝棒，表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜，其外镀一层多空的网状金膜，金膜与铝棒之间形成电容，由于氧化铝薄膜的吸水特性，导致电容值随样气水分的多少而改变，测量该电容值即可得到样气的湿度。