对于高纯气体，微量水含量是评价其质量的重要指标之一。几乎所有的高纯气体都对水分有严格的要求，因为气体的水分不仅能够溶解一些气体组分，而且能够与某些组分发生化学反应生成酸或碱，腐蚀设备或仪器，乃至影响最终产品的质量。因此，只有准确测量和严格控制高纯气体中水分含量，才能保证高纯气体的质量，从而为各领域研究提供可靠的技术基础。 水分子是一种极性较强的分子，不仅容易被容器壁吸附，而且在气体中的数量随温度和压力不同变化很大，故气体中水分的测定不同于一般组分的测定，它通常不能和其它组分一起同时检测，所以要使用测定水分的专用仪器进行测定
用露点仪测量压缩空气露点时应注意什么？ 使用露点仪变送器测量空气露点，特别是当测量的空气含水量非常低时，操作应非常小心和耐心。气体取样设备和连接管道应干燥（至少比被测气体干燥），管道连接应完全密封，气体流量应按规定选择，预处理时间应足够长。一点点粗心会带来很大的错误。 实验表明，以五氧化二磷为电解液的“微水分仪”测量经冷干燥器处理的压缩空气的“压力露点”存在较大误差。这是由于试验期间压缩空气的“二次电解”，导致读数高于实际值。经冷干燥器处理的压缩空气的含水量约为1000ppm，超出仪器的测量范围。因此，当测量经过冷干燥器处理的压缩空气的露点时，不应使用该仪器。
露点仪的测量方法——阻容法 是一种不断完善的湿度测量方法。利用一个高纯铝棒，表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜，其外镀一层多空的网状金膜，金膜与铝棒之间形成电容，由于氧化铝薄膜的吸水特性，导致电容值随样气水分的多少而改变，测量该电容值即可得到样气的湿度。