2洁净室空调系统 一般洁净室(包括工业洁净室和生物洁净室)可分为两类: 一种是空调净化系统的集中空气处理和集中送风方式。所有送至洁净车间的空气(即消除室内余热、湿度，维持室内正压，保证室内洁净度的所有送风量)均由送风管道进行粗、中效过滤、降温减湿或加热加湿等净化和热湿处理，然后送至洁净车间送风口，经过HEPA或UL。所有回风通过集中回风管道拉回空调机房与新风混合后再次进行一系列热湿处理，如此往复循环。
根据生产工艺对生产环境的不同要求(温度、湿度、洁净度、正压...)，可以分为四种不同的送风系统。① DC供气系统。 (2)回风供应系统。 (3)一、二次回风送风系统。 ④新风机组(MAU)和循环机组(RCU)送风系统。 其次是空调净化系统中的空气分离和送风方式。一种将送风与空调送风分开的方法，以消除室内余热和湿度，洁净送风，保证室内洁净度水平。即消除室内余热和湿度的空调送风量(约占总送风量的10% ~ 30%)在位于空调机房的空调机组(AHU)或新风机组(MAU)中进行热湿处理，保证室内温度和相对湿度，净化送风量(占总送风量的70% ~ 90%)在洁净室中循环，保证室内洁净度。
洁净室的空气处理方式应通过热负荷、湿负荷、风量平衡的计算和经济技术的比较得出，切忌生搬硬套。一般来说，洁净室的循环风量远大于新风量，可以实现二次回风，避免冷热抵消，达到节能的目的。因此，应采用二次回风。二次回风的过程可分为两种方式:新风承担全部冷、热、湿负荷，新风和循环风分别承担冷、热、湿负荷。冷、热、湿总负荷相同，应根据工程具体情况合理采用。对于室内显热负荷大(热湿比大)、空气流通量大的洁净室，由于送风温度与室内温度的温差较小，采用新风空调加FFU(风机过滤机组)和干表面冷却分担冷热负荷是节能的。