2洁净室空调系统 一般洁净室(包括工业洁净室和生物洁净室)可分为两类: 一种是空调净化系统的集中空气处理和集中送风方式。所有送至洁净车间的空气(即消除室内余热、湿度，维持室内正压，保证室内洁净度的所有送风量)均由送风管道进行粗、中效过滤、降温减湿或加热加湿等净化和热湿处理，然后送至洁净车间送风口，经过HEPA或UL。所有回风通过集中回风管道拉回空调机房与新风混合后再次进行一系列热湿处理，如此往复循环。
洁净室空调系统能耗高的原因: (1)净化风量大。不同净化级别的洁净室的风量是同面积舒适空调的1.5倍。55倍，送风压力也是2-3倍，所以鼓风机的温升消耗了大量的冷能。 ②洁净室空调净化系统新风量大。一般情况下，新风量等于排风量和正压漏风量之和，所以生产过程排风量大，所以新风量大。因此，新风的热湿处理需要消耗大量的能量。 (3)洁净室中的工艺设备和工艺热值高，连续二班或三班运行。所以能耗也大。 ④洁净室内生产技术对温度、湿度、精度的要求非常高，非常严格。也是能耗高的原因。
洁净室的空气处理方式应通过热负荷、湿负荷、风量平衡的计算和经济技术的比较得出，切忌生搬硬套。一般来说，洁净室的循环风量远大于新风量，可以实现二次回风，避免冷热抵消，达到节能的目的。因此，应采用二次回风。二次回风的过程可分为两种方式:新风承担全部冷、热、湿负荷，新风和循环风分别承担冷、热、湿负荷。冷、热、湿总负荷相同，应根据工程具体情况合理采用。对于室内显热负荷大(热湿比大)、空气流通量大的洁净室，由于送风温度与室内温度的温差较小，采用新风空调加FFU(风机过滤机组)和干表面冷却分担冷热负荷是节能的。