根据生产工艺对生产环境的不同要求(温度、湿度、洁净度、正压...)，可以分为四种不同的送风系统。① DC供气系统。 (2)回风供应系统。 (3)一、二次回风送风系统。 ④新风机组(MAU)和循环机组(RCU)送风系统。 其次是空调净化系统中的空气分离和送风方式。一种将送风与空调送风分开的方法，以消除室内余热和湿度，洁净送风，保证室内洁净度水平。即消除室内余热和湿度的空调送风量(约占总送风量的10% ~ 30%)在位于空调机房的空调机组(AHU)或新风机组(MAU)中进行热湿处理，保证室内温度和相对湿度，净化送风量(占总送风量的70% ~ 90%)在洁净室中循环，保证室内洁净度。
洁净室空调系统能耗高的原因: (1)净化风量大。不同净化级别的洁净室的风量是同面积舒适空调的1.5倍。55倍，送风压力也是2-3倍，所以鼓风机的温升消耗了大量的冷能。 ②洁净室空调净化系统新风量大。一般情况下，新风量等于排风量和正压漏风量之和，所以生产过程排风量大，所以新风量大。因此，新风的热湿处理需要消耗大量的能量。 (3)洁净室中的工艺设备和工艺热值高，连续二班或三班运行。所以能耗也大。 ④洁净室内生产技术对温度、湿度、精度的要求非常高，非常严格。也是能耗高的原因。
洁净室的空气处理方式应通过热负荷、湿负荷、风量平衡的计算和经济技术的比较得出，切忌生搬硬套。一般来说，洁净室的循环风量远大于新风量，可以实现二次回风，避免冷热抵消，达到节能的目的。因此，应采用二次回风。二次回风的过程可分为两种方式:新风承担全部冷、热、湿负荷，新风和循环风分别承担冷、热、湿负荷。冷、热、湿总负荷相同，应根据工程具体情况合理采用。对于室内显热负荷大(热湿比大)、空气流通量大的洁净室，由于送风温度与室内温度的温差较小，采用新风空调加FFU(风机过滤机组)和干表面冷却分担冷热负荷是节能的。