电子级四氯化硅钢瓶厂家分享:电子级四氯化硅是一种高,端半导体用电子化学品,主要用于薄膜堆积与蚀刻工艺,随着半导体制程的先进化,电子级四氯化硅被运用于逻辑芯片与存储芯片等范畴,目前主要依托进口,国内范围化消费电子级四氯化硅的企业较少。
电子级四氯化硅,四氯化硅用作半导体硅外延的硅源。由于它的沸点高,可作为优,秀的低温硅淀积的源资料。
电子级四氯化硅性质:无色、有腐蚀性、不可燃液体,有令人窒息的臭味。曝露于湿空气时构成浓烟,疾速水解放出氯化氢。熔点-70.0℃。液体密度1483kg/m3(21.1℃)。TLV(按HCl)5×10-6。其制法是以工业级四氯化硅为原料,采用精馏工艺,或再与吸附工艺相分离停止提纯。
四氯化硅按纯度能够分为工业级四氯化硅与高纯四氯化硅,高纯四氯化硅是光纤通讯、集成电路、气凝胶制造消费不可或缺的根底原资料, 依照下游需求能够分为半导体级(VAD级、OVD级、PCVD级等)四氯化硅和电子级四氯化硅。