另一种是在管状电极中，装上清除污垢用的钢丝刷，轴裹在密封的“O”形圈里，以防止流体泄露，超声波清洗方法，电击穿法，这种方法使用交流高压电定期加到电极和介质之间，一般加30~100V，由于电极被附着，其表面接触电阻变大，所加电压几乎集中在附着物上，高电压会将附着物击穿，然后被流体冲走，总安全出发，使用电击穿法必须是在流量计中断丈量、传感器与转换器间信号线断开、停电情况下将交流高压电直接在传感器信号输出端子上进行清洗。
气体质量流量控制器中不小心渗入液体的原因有很多，例如：环境监测站要对各种天气条件下的空气质量进行监测，下雨、结霜、融雪都可能使水汽进入气体质量流量控制器；燃料电池应用通过混合氧气与氢气来生成水，整个过程中极易引入水汽等。常规热式气体质量流量控制器内的传感器被设置为气体通过时将气体温度升高至一指定范围，由于液体的导热能力比气体强，所以即便只是瞬间、微量的液体出现于气路中，也会使得内部元件迅速冷却。当探测到温度下降，温度调节器便会耗费更多功率将其加热至规定温度，以致电子部件迅速烧毁。
莱峰流体生产的LF系列的气体质量流量控制器和流量计为热式毛细管感应。气体质量流量控制器和流量计工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量（无需温度和压力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器，放大后的流量测量电压或电流与设定电压或电流进行比较再将差值信号放大后去控制调节阀通过闭环控制来控制通过的流量并使之与设定的流量相等。
