气体质量流量控制器中不小心渗入液体的原因有很多，例如：环境监测站要对各种天气条件下的空气质量进行监测，下雨、结霜、融雪都可能使水汽进入气体质量流量控制器；燃料电池应用通过混合氧气与氢气来生成水，整个过程中极易引入水汽等。常规热式气体质量流量控制器内的传感器被设置为气体通过时将气体温度升高至一指定范围，由于液体的导热能力比气体强，所以即便只是瞬间、微量的液体出现于气路中，也会使得内部元件迅速冷却。当探测到温度下降，温度调节器便会耗费更多功率将其加热至规定温度，以致电子部件迅速烧毁。
流量控制器是由节流阀（或者节流阀组）、传感器、接入器、监控设备、主机、人机界面6部分组成的。那么流量控制器的工作原理是怎样的呢？我们先举个例子来说明一下，比如我们的锅炉刚刚开炉的时候，涡轮回路是不供气的，然后锅炉压力传感器把数据传到流量控制器的主机，主机知道压力已经足够，而涡轮回路的闸阀状态传感器报告说闸阀目前是处于完全闭合状态，安全回路安全阀压力传感器报告安全阀已经到了临界状态，这时主机决定开始吹管，于是他下令闸阀动作。而闸阀完全打开需要100秒，吹管只需要闸阀打开30％，那么主机向闸阀发出30秒的开闸信号，这时涡轮回路开始吹管预热。
莱峰流体生产的LF系列的气体质量流量控制器和流量计为热式毛细管感应。气体质量流量控制器和流量计工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量（无需温度和压力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器，放大后的流量测量电压或电流与设定电压或电流进行比较再将差值信号放大后去控制调节阀通过闭环控制来控制通过的流量并使之与设定的流量相等。
