氦气检漏仪是气体行业的一个术语，它使用氦气或氢气作为检漏气体，用气体分析器检测氦气的质谱仪。氦气的背景噪音低，分子量小，粘度系数低，容易通过漏孔扩散；此外，氦气是一种惰性气体，不会腐蚀设备。该气体被喷到一个与气体分析仪（调整为只对氦气发生反应）相连的容器上，如果容器内有泄漏，分析仪就会对泄漏发生反应，这样就可以知道泄漏的大小和泄漏情况。
在特种气体的各个应用领域中，电子半导体领域对特种气体的纯度和质量稳定性要求比较高，在电子半导体领域中，电子特种气体（电子特气），是大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可或缺的基础和支撑性材料之一，可以知道的是，电子特气在工业气体中属于附加值较高的品种，与传统工业气体的区别在于纯度更高（如高纯气体）或者具有特殊用途（如参与化学反应）。
所以一定要严格检查取样管线的气密性，在几乎所有现代光源中都要用到氦族气体，氖气主要用于填充各种荧光灯、发光信号装置和辉光灯等，对于低压放电管，在清洁的玻璃管内，纯氖产生橙色的光，氖与氩、氦按不同比例混合，充入各种滤光玻璃管，可制成绚丽多彩的霓虹灯（字模显示灯），虽然特种气体的生产和销售规模较小，但对不同特种气体的纯度或成分、有害杂质的含量以及根据不同用途对产品的包装、储存和运输都有比较严格的要求。
