一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。按照收集氦气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸枪法和正压累积法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。
在特种气体的各个应用领域中，电子半导体领域对特种气体的纯度和质量稳定性要求比较高，在电子半导体领域中，电子特种气体（电子特气），是大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可或缺的基础和支撑性材料之一，可以知道的是，电子特气在工业气体中属于附加值较高的品种，与传统工业气体的区别在于纯度更高（如高纯气体）或者具有特殊用途（如参与化学反应）。
所以一定要严格检查取样管线的气密性，在几乎所有现代光源中都要用到氦族气体，氖气主要用于填充各种荧光灯、发光信号装置和辉光灯等，对于低压放电管，在清洁的玻璃管内，纯氖产生橙色的光，氖与氩、氦按不同比例混合，充入各种滤光玻璃管，可制成绚丽多彩的霓虹灯（字模显示灯），虽然特种气体的生产和销售规模较小，但对不同特种气体的纯度或成分、有害杂质的含量以及根据不同用途对产品的包装、储存和运输都有比较严格的要求。
