成都三氟甲烷稀有气体介绍：
成都三氟甲烷稀有气体
一、物化性质
外观性状 无色气体
折射率 1.00043 (25oC)
熔点 ?160 °C(lit.)
密度 1.246
水溶解性 slightly
沸点 ?84 °C(lit.)
蒸汽密度 2.43 (vs air)
二、三氟甲烷的用途
1、用作超临界萃取法溶剂、低温制冷剂。及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料,电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有化合物的原料。
2、电子级氟仿是微电子工业广泛应用的等离子蚀刻气体之一,尤其是对二氧化硅膜的刻蚀,具有刻蚀速度快,选择性好的优点。此外,氟仿还用于低温混合制冷剂、有机合成中间体、红外检测器直接冷却剂等。
3、用作低温致冷剂及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料。
