半导体职业是一个高能耗的职业。在半导体产品制作过程中,由于出产设备的精密性和出产工艺的复杂性,对其配套设施提出了很高的要求,尤其对超纯水体系的运用要求更高。 在半导体制作工艺中,50%以上的工序中硅片与超纯水直接接触、80%以上的工序需求进行化学处理,而化学处理又与超纯水有关水中的杂质会进入硅片,如带入过量的杂质,就会导致器件功能下降、影响产品功能。因而,制备高品质的超纯水已成为发展大规模集成电路的重要前提技能。
超纯水处理是一般工艺很难到达的程度,莱特莱德选用预处理、反渗透技能、靶向离子交换体系以及后级处理四大步骤,独有的靶向离子交换体系针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除,保证出水硼离子可以稳定≤5ppt。
超纯水设备成果英勇的“芯” 芯片制作的每一道工序都离不开超纯水,只要水质纯洁了,才能保证每一步的正常运转。超纯水设备为芯片制作保驾护航。传统超纯水制备工艺一般运用离子交换树脂,但离子交换树脂的运用一般需求定期的树脂再生,这既耗费材料又耗费人力。超纯水设备选用超纯水设备选用反渗透工艺,或选用反渗透后离子交换混床、电去离子EDI工艺或抛光混床出产超纯水,以保证出水水质符合职业标准,满足芯片职业用水需求,成果英勇的“芯”。