跟着半导体工业的不断开展,对清洁水的电导率、离子含量、TOC、do和颗粒物的要求越来越严厉。由于超纯水在许多指标上对半导体的要求很高,因而半导体职业的超纯水与其他职业的用水要求不同。半导体职业对超纯水有极其严厉的水质要求。现在,我国常用的超纯水规范有国家规范《电子级水》(GB/T 11446.1-2013)和美标。 在半导体出产过程中,硼是一种p型杂质。过量会使n型硅反转,然后影响电子和空穴的浓度。因而,在超纯水工业中应充分考虑硼的去除。硼离美标中e1.3中要求小于0.05。假如硼离子含量可以到达较低的指标,则必然会进步半导体的性能。
超纯水处理是一般工艺很难到达的程度,莱特莱德选用预处理、反渗透技能、靶向离子交换体系以及后级处理四大步骤,独有的靶向离子交换体系针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除,保证出水硼离子可以稳定≤5ppt。
超纯水设备成果英勇的“芯” 芯片制作的每一道工序都离不开超纯水,只要水质纯洁了,才能保证每一步的正常运转。超纯水设备为芯片制作保驾护航。传统超纯水制备工艺一般运用离子交换树脂,但离子交换树脂的运用一般需求定期的树脂再生,这既耗费材料又耗费人力。超纯水设备选用超纯水设备选用反渗透工艺,或选用反渗透后离子交换混床、电去离子EDI工艺或抛光混床出产超纯水,以保证出水水质符合职业标准,满足芯片职业用水需求,成果英勇的“芯”。