传统的蚀刻工艺因为存在技术落后、生产成本高、严重的污染问题,guo家在环保政策的要求下强势淘汰传统工艺,整个蚀刻行业亟需解决行业升级、技术换代的问题,且迫在眉睫,蚀刻优版创新技术应运而生,微加工过程中有很多加工步骤,现代工艺上,不锈钢蚀刻板针对高精密、精细化的产品上无法满足,其蚀刻工艺手段非常适用对精密化产品,比如汽车机械部件、垫片和间隔垫圈、高性能密封垫片、各种过滤网片,电动汽车电池片,汽车喇叭网上均采用蚀刻工艺。
缺点包括许多化学废物,其中许多是高酸性和多步过程,在蚀刻之前,需要掩盖衬底的区域以获得器件所需的详细功能,在称为光刻的过程中,将光敏光刻胶旋涂到晶圆上,然后将晶片预烘烤以除去光刻胶中多余的溶剂,然后将具有所需特征的切口的掩模放置在光致抗蚀剂的顶部,并使用紫外光固化任何曝光的光致抗蚀剂,当将腐蚀剂(一种腐蚀性化学品)施加到被掩膜的晶圆上时,在所有方向上未被掩膜覆盖的区域中,蚀刻会以相同的速率发生,从而产生倒圆的边缘。
现在可以对涂覆的晶片进行湿法蚀刻以将所需的图案雕刻到晶片中,各向同性蚀刻,即在所有方向上均相等的蚀刻,是指基材的方向不影响蚀刻剂去除材料的方式,如果允许蚀刻剂反应足够长的时间,如图1所示,蚀刻剂将蚀刻掉称为掩模底切的掩模下的基板材料,可以通过在底切掩模前先冲洗掉蚀刻剂,然后在通道上施加光刻胶来避免这种情况,加工出来的产品没有毛刺,没有脏污,表面更是光滑,蚀刻加工是其他机械的工艺都无法加工的高精密产品。