在一些蚀刻情况下,蚀刻会削弱掩模层,并产生形成空腔的倾斜侧壁,底切的距离称为偏差,湿蚀刻剂通常是各向同性的,并且它们在厚膜蚀刻期间导致较大的偏差,它们还需要处理大量有毒废物,这种蚀刻方法在“后端”处理(BEOL)之前特别有效,在该处理中,晶片在晶片背面研磨之后通常非常薄,并且对热或机械类型的应力非常敏感,晶圆,也称为基板,通常是平面表面,其中添加了薄薄的材料层,以用作电子和微流体设备的基础;zui常见的晶圆是由硅或玻璃制成的。
蚀刻几微米的非常薄的层将去除在背面研磨过程中产生的微裂纹,导致晶片具有显著增加的强度和柔性,对于各向同性湿法蚀刻,氢氟酸、硝酸和乙酸(HNA)的混合物是硅zui常见的蚀刻剂溶剂,每种蚀刻剂的浓度决定了蚀刻速率,二氧化硅或氮化硅经常被用作对抗HNA的掩蔽材料,彩色不锈钢蚀刻板具有较高的耐磨、抗刻划特性高于普通不锈钢,常用于酒店、宾馆、娱乐场所、gao档皮牌专卖店、车厢板、厅堂墙板、天花板、招牌、门窗装饰等。
现在可以对涂覆的晶片进行湿法蚀刻以将所需的图案雕刻到晶片中,各向同性蚀刻,即在所有方向上均相等的蚀刻,是指基材的方向不影响蚀刻剂去除材料的方式,如果允许蚀刻剂反应足够长的时间,如图1所示,蚀刻剂将蚀刻掉称为掩模底切的掩模下的基板材料,可以通过在底切掩模前先冲洗掉蚀刻剂,然后在通道上施加光刻胶来避免这种情况,加工出来的产品没有毛刺,没有脏污,表面更是光滑,蚀刻加工是其他机械的工艺都无法加工的高精密产品。