另一方面,湿蚀刻仅是化学过程,干蚀刻等向性蚀刻与异向性蚀刻同时存在,湿蚀刻:利用化学药液将需要蚀刻掉的物质蚀刻掉,湿蚀刻为等向性蚀刻,湿蚀刻机台便宜,蚀刻速度快,但难以jing确控制线宽和获得极其精细的图形并且需要大量用水,污染大;干蚀刻机台价格昂贵,蚀刻速度速度慢,但可以jing确控制线宽能获得极其精细的图形,而且不需要用水,污染小,蚀刻工艺是一项工业应用,涉及到我们生活中的全方面应用,在工业制造中是不可缺少的中间工艺,其应用领域紧密的以我们生活中的“吃、穿、住、行”为主要应用,无论是行业应用,或者是生活生产,蚀刻工艺是不可取代,且不可缺失的。
蚀刻几微米的非常薄的层将去除在背面研磨过程中产生的微裂纹,导致晶片具有显著增加的强度和柔性,对于各向同性湿法蚀刻,氢氟酸、硝酸和乙酸(HNA)的混合物是硅zui常见的蚀刻剂溶剂,每种蚀刻剂的浓度决定了蚀刻速率,二氧化硅或氮化硅经常被用作对抗HNA的掩蔽材料,彩色不锈钢蚀刻板具有较高的耐磨、抗刻划特性高于普通不锈钢,常用于酒店、宾馆、娱乐场所、gao档皮牌专卖店、车厢板、厅堂墙板、天花板、招牌、门窗装饰等。
现在可以对涂覆的晶片进行湿法蚀刻以将所需的图案雕刻到晶片中,各向同性蚀刻,即在所有方向上均相等的蚀刻,是指基材的方向不影响蚀刻剂去除材料的方式,如果允许蚀刻剂反应足够长的时间,如图1所示,蚀刻剂将蚀刻掉称为掩模底切的掩模下的基板材料,可以通过在底切掩模前先冲洗掉蚀刻剂,然后在通道上施加光刻胶来避免这种情况,加工出来的产品没有毛刺,没有脏污,表面更是光滑,蚀刻加工是其他机械的工艺都无法加工的高精密产品。