蚀刻是从材料表面去除材料的过程,蚀刻的两种主要类型是湿蚀刻和干蚀刻(例如,等离子体蚀刻),涉及使用液体化学药品或蚀刻剂去除基板材料的蚀刻工艺称为湿蚀刻,通常所指金属蚀刻加工也被称为化学蚀刻加工,通过制版,经过曝光(紫外线图像转移)到金属上面,将图案显影后,将要蚀刻的保护层去掉,在蚀刻过程中接触化学药水,让两面的图案通过化学腐蚀研磨的作用,形成凹凸和镂空成形的效果,金属蚀刻加工具有很强的针对性的工艺。
蚀刻几微米的非常薄的层将去除在背面研磨过程中产生的微裂纹,导致晶片具有显著增加的强度和柔性,对于各向同性湿法蚀刻,氢氟酸、硝酸和乙酸(HNA)的混合物是硅zui常见的蚀刻剂溶剂,每种蚀刻剂的浓度决定了蚀刻速率,二氧化硅或氮化硅经常被用作对抗HNA的掩蔽材料,彩色不锈钢蚀刻板具有较高的耐磨、抗刻划特性高于普通不锈钢,常用于酒店、宾馆、娱乐场所、gao档皮牌专卖店、车厢板、厅堂墙板、天花板、招牌、门窗装饰等。
现在可以对涂覆的晶片进行湿法蚀刻以将所需的图案雕刻到晶片中,各向同性蚀刻,即在所有方向上均相等的蚀刻,是指基材的方向不影响蚀刻剂去除材料的方式,如果允许蚀刻剂反应足够长的时间,如图1所示,蚀刻剂将蚀刻掉称为掩模底切的掩模下的基板材料,可以通过在底切掩模前先冲洗掉蚀刻剂,然后在通道上施加光刻胶来避免这种情况,加工出来的产品没有毛刺,没有脏污,表面更是光滑,蚀刻加工是其他机械的工艺都无法加工的高精密产品。