传统的蚀刻工艺因为存在技术落后、生产成本高、严重的污染问题,guo家在环保政策的要求下强势淘汰传统工艺,整个蚀刻行业亟需解决行业升级、技术换代的问题,且迫在眉睫,蚀刻优版创新技术应运而生,微加工过程中有很多加工步骤,现代工艺上,不锈钢蚀刻板针对高精密、精细化的产品上无法满足,其蚀刻工艺手段非常适用对精密化产品,比如汽车机械部件、垫片和间隔垫圈、高性能密封垫片、各种过滤网片,电动汽车电池片,汽车喇叭网上均采用蚀刻工艺。
当反应发生时,材料以类似于向下蚀刻的速度被横向移除,湿化学蚀刻通常是各向同性的,即使存在掩模,因为液体蚀刻剂可以渗透到掩模下面,如果方向性对于高分辨率图案转移非常重要,通常禁止湿法化学蚀刻工艺,湿蚀刻是光刻之后的微细加工过程,该过程中使用化学物质去除晶圆层,湿法刻蚀是半导体制造,微机械和微流控设备中的重要过程,需要微尺度的特征来优化性能或创建层流态,这在宏观上几乎是不可能获得的,由于能够通过改变蚀刻剂浓度和蚀刻时间来轻松控制z轴蚀刻,因此常用于分层应用。
缺点包括许多化学废物,其中许多是高酸性和多步过程,在蚀刻之前,需要掩盖衬底的区域以获得器件所需的详细功能,在称为光刻的过程中,将光敏光刻胶旋涂到晶圆上,然后将晶片预烘烤以除去光刻胶中多余的溶剂,然后将具有所需特征的切口的掩模放置在光致抗蚀剂的顶部,并使用紫外光固化任何曝光的光致抗蚀剂,当将腐蚀剂(一种腐蚀性化学品)施加到被掩膜的晶圆上时,在所有方向上未被掩膜覆盖的区域中,蚀刻会以相同的速率发生,从而产生倒圆的边缘。