蚀刻是微制造过程中的一个重要步骤,术语蚀刻指的是在制造时从晶片表面去除层,这是一个非常重要的过程,每个晶片都要经历许多蚀刻过程,用于保护晶片免受蚀刻剂影响的材料被称为掩模材料,其用于许多蚀刻步骤中以抵抗蚀刻,该掩模材料可以是光致抗蚀剂,并且使用光刻法将其图案化,蚀刻加工是现在常用的加工方式,主要应用在金属蚀刻、蚀刻标牌、蚀刻五金以及PCB电路板上,蚀刻加工相比于传统的冲压、激光雕刻等方式,更加灵活,也更方便。
蚀刻几微米的非常薄的层将去除在背面研磨过程中产生的微裂纹,导致晶片具有显著增加的强度和柔性,对于各向同性湿法蚀刻,氢氟酸、硝酸和乙酸(HNA)的混合物是硅zui常见的蚀刻剂溶剂,每种蚀刻剂的浓度决定了蚀刻速率,二氧化硅或氮化硅经常被用作对抗HNA的掩蔽材料,彩色不锈钢蚀刻板具有较高的耐磨、抗刻划特性高于普通不锈钢,常用于酒店、宾馆、娱乐场所、gao档皮牌专卖店、车厢板、厅堂墙板、天花板、招牌、门窗装饰等。
现在可以对涂覆的晶片进行湿法蚀刻以将所需的图案雕刻到晶片中,各向同性蚀刻,即在所有方向上均相等的蚀刻,是指基材的方向不影响蚀刻剂去除材料的方式,如果允许蚀刻剂反应足够长的时间,如图1所示,蚀刻剂将蚀刻掉称为掩模底切的掩模下的基板材料,可以通过在底切掩模前先冲洗掉蚀刻剂,然后在通道上施加光刻胶来避免这种情况,加工出来的产品没有毛刺,没有脏污,表面更是光滑,蚀刻加工是其他机械的工艺都无法加工的高精密产品。